技术编号:8058768
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及一种高温炉用工装,具体地说是一种碳/碳复合材料坩埚,特别是涉及一种单晶炉用碳/碳复合材料坩埚。背景技术目前,单晶炉拉制单晶硅棒时,盛装多晶硅块等原料的石英坩埚放入位于埚托之上的坩埚内,在保护性气氛中加热熔化,调控到工艺温度后,籽晶经导流筒插入熔融多晶硅液中,坩埚放在埚托上由其下的埚托轴带动一同旋转,同时,籽晶也逆向旋转并向上提升, 使多晶硅液按籽晶的硅原子排列顺序结晶凝固成单晶硅棒。在单晶硅棒拉制过程中,炉内温度高达1500°C左右,此时,石英坩埚变软,要靠外面的坩埚承托。当坩埚为石墨坩埚时,...
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