技术编号：8060678
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及多晶硅铸锭炉，尤其是一种多晶硅铸锭炉石墨加热器。 背景技术目前，国内外制备多晶硅锭大多是采用定向凝固方法，该方法是将硅料按一定比例配好置于坩埚中，再将坩埚放入定向凝固炉中加热、熔融、再通过长晶、退火、冷却工序生产得到多晶硅。为了防止石英坩埚上方石墨加热器中的碳杂质或其他杂质掉入石英坩埚内，造成生产的多晶硅锭碳杂质含量及其他杂质含量偏高，同时也为了防止液面蒸发气体腐蚀石墨加热器，现有技术通常是采用盖板将几块护板拼接成的口部盖住；由于石英坩埚装料时，硅原料的堆积高度会高于石英坩埚，所以护板的高度一...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。