技术编号：8061682
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及一种节能装置，尤其是涉及一种直拉硅单晶炉用节能装置。 背景技术单晶硅，又称硅单晶，是一种半导体材料。直拉硅单晶炉(简称单晶炉)是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，并用直拉法生长无错位单晶硅的设备。直拉硅单晶炉主要包括机架、坩埚驱动装置、主炉室、翻板阀、副炉室、籽晶提升机构、液压驱动装置、真空系统、冲氩气系统及水冷系统。其中，机架由底座、上立柱和下立柱组成，是直拉硅单晶炉的支撑装置；坩埚驱动装置安装在底座内的平台上；由炉底板、炉底、炉筒和炉盖组成的主炉室安装在底座的上平面...
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