技术编号:8063814
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型属于多晶硅生产技术领域,尤其涉及一种热交换装置。 背景技术多晶硅铸锭炉是一种硅熔炼设备,是生产大规格太阳能级电池多晶硅锭的重要设备。生产中,将原生硅装入炉中,按工艺要求加热熔化、定向长晶、热处理、冷却出炉。多晶硅生产中的关键技术之一在于硅熔体结晶时控制热场的温度梯度。目前,多晶铸锭炉的热场控制结构包括炉体、保温腔体、坩埚、加热器和冷却铜板, 其中,保温腔体和冷却铜板均设置在炉体内部;坩埚位于保温腔体内部;坩埚的下部和上部均设置有加热器,以加热坩埚内部的原生硅;保温腔体的开口处设置有保温板,冷却铜板...
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