技术编号:8064072
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及一种硅单晶圆型锥籽晶专用夹持内套,用于大直径直拉硅单晶生长过程中锥籽晶的固定。背景技术直拉法是目前单晶硅生长的主要方法,而锥籽晶是直拉硅单晶制备的最主要耗材之一,在晶体生长的过程中籽晶承受着全部晶体的重量。随着直拉硅单晶直径的不断增大, 籽晶夹具承受的重量越来越大,因此难以在晶体重量较大的情况下保证对中的准确性和安全性。公知的夹具内套主要是针对小直径直拉硅单晶生长的,但是由于籽晶与夹具内套的接触面积较小,当硅单晶直径变大时会导致局部受力增大,因此无法保证晶体生长过程系统的安全性。实用新型内容本...
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