技术编号:8064084
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域一种晶体材料区熔基磷检测装置技术领域本实用新型涉及晶体材料杂质磷含量的检测装置,尤其是涉及一种晶体材料区熔基磷检测装置。背景技术已知的,多晶硅是生产单晶硅的直接原料,也是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的基础材料。多晶硅是一种高纯物质,俗称高纯硅。一般金属硅纯度达到五个“9”就算是了不起了,可是对多晶硅来说还远远不够,电子工业所用的多晶硅必须是八个“9”到十个“9”;也就是说,在十亿到百亿个硅原子中仅有一个杂质原子。由此可知,对多晶硅的纯度要求是相当高的。多晶硅产品质量情况是通过区熔拉...
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