技术编号：8064172
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种超声波换能器的制作方法，特别是有关一种微电容式超声波换能器的制作方法。背景技术 超声波检测技术自第二次世界大战开始发展，早期用于国防军事用途，直到1950年代后期才开始大量应用于医学检测方面。而在所有超声波检测技术中，超声波换能器(Ultrasonic Transducer)扮演极为重要的角色，过去几十年来，产、官、学、研各界均已投入大量的研究与发展，相关技术亦已日趋成熟，而其中的主流研究方向则一直是压电式超声波换能器。所谓压电效应有两种正压电效应(direct piezoelectric e...
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