技术编号:8064830
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及通过拉拔法(Czochralski法)拉拔诸如氟化钙之类的金属氟化物的单晶拉拔装置。背景技术 诸如氟化钙、氟化鋇、氟化鎂或氟化鋰的金属氟化物的单晶在宽范围内的波长带上具有高的透射性,并具有低的散射和极佳的化学稳定性。为此原因,这些金属氟化物的单晶已被广泛地要求用作光学材料,例如,利用具有一紫外线波长或真空紫外线波长的激光的各种装置,照相机的透镜或CVD器件和窗材料。在金属氟化物的单晶中,尤其是,氟化钙单晶有望做成用于在真空紫外线波长区域内的F2激发器激光(波长157nm)的凸透镜,其已发展成一短波...
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