技术编号:8065469
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及一种坩埚下部测温仪实现温度闭环辅助晶体生长装置,属于蓝宝石单晶生长炉领域。背景技术蓝宝石是一种简单配位型氧化物晶体。具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性,被广泛的应用于民用航天、半导体衬底、红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光的窗口材料等,同时晶体生长设备_单晶生长炉也随之得到了飞速的发展。闭环控制是控制论的一个基本概念。温度,指作为被控的温度输出以一定方式返回到作为控制的输入端,并对输入端施加控制影响的一种控制关系。在控制论中,温度闭环通常指输出端通过“旁链”温度传感器等方式回馈到输入...
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