技术编号:8066914
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本发明公开了一种用于硅铸锭炉的固液界面测定装置,包括用于与硅铸锭炉中的固态多晶硅接触的石英棒;第一活塞杆处于伸出状态的气缸,第一活塞杆与石英棒连接;用于驱动石英棒上下直线运动的驱动装置;安装于气缸的第一活塞杆与石英棒之间,用于感应石英棒与固态多晶硅接触所产生的作用力的压力传感器;分别与驱动装置和压力传感器电连接,用于接收压力传感器所采集的信号,并根据接收到的信号控制驱动装置驱动石英棒上升或下降的PLC。本发明的用于硅铸锭炉的固液界面测定装置的结构简单、制造成本低、使用方便并且测量结构准确,并能自动获得硅铸锭...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。