技术编号:8066980
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本发明提供一种阻抗匹配装置、阻抗匹配方法及基片加工设备,阻抗匹配装置包括阻抗匹配网络,其包括第一电容和第二电容,所述等离子体负载的一端与所述射频功率源连接,另一端接地;所述第二电容串联在所述射频功率源与所述等离子体负载之间;所述第一电容的一端与所述等离子体负载连接,另一端接地;自动控制单元,在调节阻抗匹配网络的输入阻抗时,首先调节所述第一电容的阻抗值使阻抗实部偏差小于或等于第一预设精度,然而调节所述第二电容的阻抗值使阻抗虚部偏差小于或等于第二预设精度,重复上述调节步骤,射频功率源的输出阻抗与阻抗匹配网络的输...
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