技术编号:8067747
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本发明公开了一种射频信号相位可调节的射频电源,所述射频电源包括射频信号发生器、射频功率放大电路、供电线路和射频功率检测器;所述射频信号发生器包括相位调节电路,所述相位调节电路用于调节外输入射频信号的相位。由于本发明在射频信号发生器内嵌入有相位调节电路,因此能够调节同步接入的射频信号的相位,消除本射频电源与提供射频信号的射频电源之间的信号相位差,避免串扰,提高工艺稳定性。专利说明射频信号相位可调节的射频电源技术领域[0001]本发明涉及射频电源,尤其是涉及一种射频信号相位可调节的射频电源。背景技术[0002]...
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