技术编号：8068066
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要，它是一种在磷化镓多晶合成过程中掺入锌杂质，其中，将锌放入装镓的石墨管中，将石墨管封在石英反应管中，放入高压区熔合成炉，将镓端升温、磷端升温，到达温度后开始合成，移动石英反应管，对磷端进行升温，测试合成好的掺锌磷化镓多晶头尾杂质浓度。本发明的优点是可以直接用于拉制掺锌磷化镓单晶，而不用在单晶拉制时另外加入杂质锌，因此，单晶拉制过程减少了锌的挥发，便于拉晶过程的观察，有利于提高单晶成品率，又能很好地控制单晶的掺杂浓度。专利说明技术领域[0001]本发明涉及一种化合物半导体晶体中掺杂方法，具体地说，是涉及。背景...
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