技术编号:8068312
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本发明公开一种等离子体装置,包括电感耦合线圈,所述电感耦合线圈通过匹配器与射频源相连接,所述电感耦合线圈用于在工艺过程中激发等离子体,所述刻蚀包括工艺气体不同的N个工艺步骤,所述电感耦合线圈包括至少两组线圈;通过至少两组线圈构成N种线圈组合;其中,每种线圈组合由至少两组线圈中的部分或全部构成,且所述N种线圈组合的构成各不相同;所述N种线圈组合与所述N个工艺步骤分别对应;通过射频源选择性地连接至所述N种线圈组合中的一个,以进行与所述各个线圈组合相对应的工艺步骤。通过该等离子体装置,根据不同的工艺气体使用不同的...
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