技术编号:8068472
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要一种感应等离子体焰炬,包括管状焰炬体;等离子体限制管,布置在管状焰炬体中,与管状焰炬体同轴;气体分配器头,布置在等离子体限制管的一端,并构造成将至少一种气体物质供应进等离子体限制管中;感应耦合构件,用于对气体物质施加能量,以在等离子体限制管中产生并维持等离子体;电容屏蔽层,包括被施加到等离子体限制管的外表面上或管状焰炬体的内表面上的传导材料薄膜。传导材料薄膜被分割为轴向条,轴向条在一端互相连接。传导材料薄膜的厚度小于根据供应给感应耦合构件的电流的频率和薄膜传导材料的电导率计算出的趋肤深度。可在等离子体的外表...
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