技术编号：8068720
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本发明揭露一种柴式生长系统，包括生长腔，隔离阀，含有原料的进料腔，以及进料机。该隔离阀置于该生长腔的至少一个侧边壁中，而该进料腔通过该隔离阀而真空密封至该生长腔。该进料机通过该隔离阀可插入至该生长腔且提供该原料至该生长腔。优选地，此系统能使用连续柴式方法用来制造硅锭。专利说明用于硅锭的柴氏生长的侧边进料系统[0001]相关申请案的交互参考[0002]本发明主张于2011年4月20日所提出的美国临时专利申请案第61/477，435号的利益。技术领域[0003]本发明一般涉及结晶锭块的柴氏生长。具体而言，本发明...
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