技术编号:8069127
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本发明公开了一种定向固化炉,所述炉包括设置在坩埚的底部部分下方的一个或多个可移动的绝热元件。在第一位置中,所述绝热元件限制热量从所述坩埚的底部部分流出。在第二位置中,所述绝热元件不限制热量从所述坩埚的底部部分流出。致动系统用于使绝热元件在所述第一位置和所述第二位置之间移动。专利说明具有可侧向移动的绝热系统的定向固化炉[0001]相关申请的交叉引用[0002]本申请要求于2011年9月14日提交的美国临时专利申请N0.61/534,575的优先权,该申请的公开内容通过引用全部结合在本文中。技术领域[0003]...
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