技术编号：8069145
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本发明公开了一种制造碳化硅衬底的方法，所述方法包括准备由单晶碳化硅构成的锭的步骤；通过对所述锭进行切片而得到碳化硅衬底(10)的步骤；以及对所述碳化硅衬底(10)的表面进行研磨的步骤。在所述得到衬底(10)的步骤中，以使得在其中在{0001}面上的正交投影中相对于<11-20>方向或<1-100>方向形成的角为15±5°的方向上进行切割的方式对所述锭(1)进行切片。在所述对所述衬底(10)的表面进行研磨的步骤中，在所述衬底(10)的至少一个主表面(10A、10B)的整个表面与研磨表面...
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