技术编号：8069152
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要确定硅样品中的掺杂剂杂质的浓度的方法包括提供包括给体类型掺杂剂杂质和受体类型掺杂剂杂质的硅锭；通过如下确定其中发生在第一导电性类型和相反的第二导电性类型之间的转变的该锭的第一区域的位置的一个步骤(F1)对该锭的多个部分进行基于氢氟酸、硝酸、和乙酸的化学处理，由此使得在所述多个部分中与所述第一导电性类型和所述第二导电性类型之间的转变对应的一个中显露缺陷；测量与所述第一区域分开的该锭的第二区域中的自由载流子浓度的一个步骤(F2)；和基于该锭的所述第一区域的位置以及所述第二区域中自由载流子浓度确定该样品中的掺杂剂...
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