技术编号：8071213
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本发明提供一种既不使石墨加热器的电阻值有大的下降，而挠曲以及翘曲等的变形又极少的高温强度高的石墨加热器。本发明的石墨加热器，为了达成上述目的，在两端有电气连接部或端子部，在与电流流动的长方向上的交叉的截面上呈凹形的沟部形成，其特征在于∶所述沟部沿着所述长方向连续形成，但是在该沟部与所述长方向交叉的方向上有至少一个梁部形成。专利说明石墨加热器技术领域[0001]本发明涉及在CVD(化学的气相蒸镀法)等的处理被进行的半导体基板处理装置以及基板成长装置等中，以对所述半导体基板进行加热为目的使用的石墨加热器。背景技...
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