技术编号:8071278
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本发明公开了一种石英坩埚,包括敞口的坩埚本体,所述坩埚本体的内底面均匀设置有多个用于在多晶硅铸锭工艺中作为形核点的盲孔。本发明的石英坩埚,在石英坩埚的内底面上形成若干在多晶硅铸锭工艺中作为形核点的盲孔,通过热场与工艺的配合,控制长晶初期的过冷度,从而可以得到均匀的具有一定尺寸大小的小晶粒。本发明的石英坩埚制备成本低且形核点均匀、适宜。本发明还公开了制备石英坩埚的方法以及用于制备石英坩埚的专用模具。专利说明一种石英坩埚、其制备方法及专用模具 技术领域 [0001]本发明涉及用于多晶硅铸锭工艺中的坩埚设备,...
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