技术编号：8072317
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本发明属于多晶硅铸锭工艺，具体涉及一种双模式控制熔化保温的多晶硅铸锭工艺，包括装料抽真空、熔化保温、长晶、退火、降温和开方，其特征在于熔化保温阶段中，先采用功率控制模式，通过增大加热器功率，使得石英坩埚内温度达到熔化温度，然后采用温度控制模式，控制熔化温度不变进行保温。本发明的优点在于（1）控制模式转换的温度即为熔化温度，省去了预热再升温的步骤，另外一开始通过高功率加热，缩短了整个工艺的时间3～4h；（2）由于工艺时间的缩短，能够使得整个铸锭工艺的成本降低大约5%。专利说明双模式控制熔化保温的多晶硅铸锭工艺...
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