技术编号:8073136
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要一种等离子体处理装置及等离子体处理的方法,其中,所述等离子体处理装置包括设置于反应腔顶部的若干呈同心分布的多个电感耦合线圈,用于将反应腔内的气体等离子体化,所述电感耦合线圈与所述承片台相对;若干射频功率源,用于分别向电感耦合线圈提供脉冲式射频信号;至少连接到所述第一射频功率源和第二射频功率源的控制单元,所述控制单元用于控制第一射频功率源和第二射频功率源输出的射频功率在高功率输出和低功率输出之间切换形成脉冲式射频信号,且所述低功率输出大于零,所述控制单元使第一射频功率源和第二射频功率源输出的脉冲式射频功率均独...
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