技术编号:8073226
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要一种消除太阳能P型单晶氧施主效应的退火装置及方法,装置包括炉体,加热器安装在炉体的炉膛内;加热器外围设有保温筒;保温筒周围裹有保温垫;保温盖板通过卡槽定位在保温筒上;反射板置于加热器的下方;在保温筒下部设有抽气孔。本发明可处理存在有氧施主现象,电阻率虚高,即电阻率超过太阳能单晶电阻率要求(>6欧姆.厘米)P型单晶,通过本发明退火后的电性能参数达到太阳能硅片要求的1-6欧姆.厘米,本发明结构简单、操作方便,得到的产品品质,具有较高的推广意义和广泛的应用价值。专利说明消除太阳能P型单晶氧施主效应的退火装置及方法...
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