技术编号：8073607
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本发明提供了一种立式液相外延炉，其特征在于它主要包括机架、升降机构、工作杆、取放料腔、过渡腔、工艺腔；其中升降机构固定在机架上，升降机构通过轴承单元与工作杆相连；取放料腔、过渡腔、工艺腔通过真空阀门自上至下顺次密封连接，形成密闭腔体；工作杆密封性通入取放料腔、过渡腔、工艺腔内；取放料腔上设置取放料密封门；过渡腔上设置真空抽口和充气口；其优点在于进行外延膜生长的工艺腔相对为独立空间，晶片进行放入、更换、取出时均在取放料腔内进行，无需对工艺腔内气体做功，从而减少了能源消耗，缩短了产品制造时间，提高了工作效率，降...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。