技术编号:8073813
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要一种钛铌铁酸盐或铌铁酸盐外延薄膜及其制备方法和应用,该外延薄膜为在单晶基片上外延生长的Ca(Fe,Nb)(1-x)/2TixO3薄膜组成,其中0≤x<1。制备方法为利用射频磁控溅射的方法,以Ca(Fe,Nb)(1-x)/2TixO3多晶为靶材,在600~800℃下,氧压为1~5mbar,在单晶基片上外延生长Ca(Fe,Nb)(1-x)/2TixO3薄膜,溅射结束后自然降至室温,得到钛铌铁酸钙外延薄膜。本发明制作工艺简单,制备过程对环境无污染,制得的外延薄膜低频下介电性能波动小、热性能稳定性好,并且可以应用于...
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