技术编号:8074599
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本发明公开了一种扩散炉管,包括有炉管、炉帽、观察孔等,其特征在于在所述炉帽上还设置有尾气排放管道。本发明的有益效果是直接将尾气排入抽风管道,不会对环境造成污染,改善了劳动条件,保障了工人的身体健康,提高了工作效率,结构简单实用。专利说明一种扩散炉管技术领域[0001]本发明涉及的是半导体电子元器件制造技术领域,尤其是涉及一种扩散炉管的改进。背景技术[0002]扩散炉管是半导体器件及大规模集成电路制造过程中用于对硅片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺的一种加工装置。主要反应装置一般分为水平式和直立式两种,...
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