技术编号：8075803
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要，其加工步骤如下a.采用高均匀度的铝合金加热器主体；b.采用高性能的耐热镍铬铁合金外壳加热管；c.加热管安装入加热器主体；由考虑气体的热膨胀系数的盖板焊接密封；d.采用双接口热电偶，插入加热器主体带U形沟槽面的中央孔中；e.冷却加热管道设置在加热管上表面；分别使用冷或热的气体通过冷却加热管道来冷却或加热；f.加热器上加工密封面，保证生产时腔室的真空度。本发明通过加热管内部的精确设计的高性能加热丝产生热量，并通过热量的传导使加热器主体共同发热，通过温度控制器及冷却系统精确提供制造所需的各种温度。可以使半导体晶...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。