技术编号:8084155
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本实用新型公开了一种简易的热偶保护装置,包括双孔瓷管、短瓷管和石墨套管,其中,短瓷管一端密封,热偶丝在炉内直管的部份设置于双孔瓷管内,双孔瓷管的设置于短瓷管内,短瓷管设置在石墨套管内,双孔瓷管、短瓷管和石墨套管整体形成保护结构来将热偶丝与砷蒸气相隔离。本实用新型中,由于铂-铂铑热偶丝在高温区完全由瓷管保护,与砷蒸气不接触,从而避免了腐蚀。专利说明一种简易的热偶保护装置技术领域[0001]本实用新型涉及一种简易的热偶保护装置。背景技术[0002]垂直梯度冷凝法(VGF)生长砷化镓(GaAs)单晶是目前最通用的...
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