技术编号：8085170
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要多晶硅化学气相沉积反应器中的叶片冷却结构，包括，冷却水进口1、分水仓2、叶片进水口3、叶片冷却水道4、叶片冷却水出口5、回水仓6、回水出口7；其中，冷却水通过进口1进入分水仓2，每个叶片的冷却水从分水仓2流入各叶片进水口3，再通过叶片冷却水道4对叶片进行冷却，冷却回水通过各叶片冷却水出口5返回到回水仓6，然后通过回水出口7引出；本冷却结构提供了在高温高压腐蚀性环境中，为气流提供推力并使气场和温度场均匀化的水冷却叶片结构。该结构在保证工作叶片在高温、高压和腐蚀性气氛环境中有效工作，而不因其表面温度过高被腐蚀，...
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