技术编号：8085447
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本实用新型公开了一种能够提高产品合格率的多晶硅铸锭装置。该多晶硅铸锭装置包括炉体，所述炉体内设置有下托保温板与保温罩，保温罩与下托保温板共同构成保温隔热笼，所述保温罩上连接有升降杆，所述保温隔热笼内设置有坩埚、坩埚护板、石墨底板、石墨盖板、侧部加热器、顶部加热器、热交换平台，所述炉体底部安装有溢流毯，所述溢流毯的上表面安装有溢流丝，所述坩埚与坩埚护板之间设置有碳毡，侧部加热器的热量先透过坩埚护板后再透过碳毡传递给坩埚，这样可以使热量在透过碳毡时得到均化，从而使坩埚受热均匀，保证坩埚内的硅料熔化速度一致，最后...
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