技术编号:8085449
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本实用新型公开了一种能够达到快速高效监测目的的多晶硅铸锭装置。该多晶硅铸锭装置包括炉体,所述炉体内设置有下托保温板与保温罩,保温罩与下托保温板共同构成保温隔热笼,所述保温罩上连接有升降杆,所述保温隔热笼内设置有坩埚、坩埚护板、石墨底板、石墨盖板、侧部加热器、顶部加热器、热交换平台,所述炉体底部安装有溢流毯,所述溢流毯的上表面安装有溢流丝,在相邻的石墨立柱之间均设置有溢流丝,当溢流的硅液沿石墨立柱向下流到溢流毯的上表面时,由于溢流丝与石墨立柱之间的距离较近,溢流的硅液会立刻烧断铺设在离石墨立柱较近的溢流丝,从...
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