技术编号：8085606
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及压电扫描步进器和扫描探针显微镜，特别设及一种无摩擦惯性步进扫描 器及其控制方法以及由此制成的同点扫描双探针显微镜。 背景技术现有的XYZ压电扫描管因其尺寸小且操作简单、可靠，已在扫描探针显微镜领域获得了 巨大的应用，完全淘汰了早期的三脚架扫描结构。但，它只能对最大约10-100微米量级这 样一个微小范围内的样品表面进行扫描、测量谱数据和成像，这是因为制造XYZ压电扫描管 的压电材料的压电系数很小的缘故。目前已可以利用压电惯性步进器原理来一步步地在扫描 管上移动样品，获得一个累计的、较大范围的移...
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