技术编号:8087305
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本实用新型公开一种直拉单晶硅的掺杂装置,其装置包含括支撑架(2)、与支撑架滑竿相嵌套的滑动装置(1)、与支撑架(2)和滑动装置相连的掺杂容器(3)、用于连接的连接绳或连接杆(4)。该装置能够实现直拉单晶硅生长的快速准确掺杂,适用于实际生产环节。专利说明—种直拉单晶硅的掺杂装置技术领域[0001]本实用新型属于半导体晶体生长领域,特别涉及一种直拉硅单晶的掺杂装置,能够实现直拉单晶硅准确快速掺杂。背景技术[0002]直拉单晶硅生长方法又称切克劳斯基(Czochralski)法,简称CZ法是目前半导体单晶硅的主要...
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