技术编号:8088350
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本实用新型公开了一种长晶炉,包括炉体;位于所述炉体内的坩埚;形成于所述炉体内壁上的保温板,所述的保温板包括水平设置于所述坩埚顶端的上保温内侧板,以及竖直分布于所述坩埚四周的下保温板,所述下保温板贴近所述坩埚底端边缘处的厚度小于下保温内板其他位置的厚度。本实用新型还公开了一种长晶炉均匀散热的控制方法。本实用新型通过长晶炉下保温内侧板几何形状的变更设计,我们就可利用保温板厚度变薄,保温效果变差的原理,将固有硅碇底侧边散热较慢的情形加以改善,而达到整体硅碇底部均匀散热的目的。避免定向垂直长晶时局部区域晶体结构错位...
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