一种单晶炉导气管的制作方法技术资料下载

技术编号:8089272

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专利摘要本实用新型公开了一种单晶炉导气管,属于单晶炉排气技术领域,包括导气弯管和导气直管,所述导气弯管为一端开口的横向管道,其底面为平面,且底面上设有圆孔;所述导气直管为竖直圆管,其顶端外圆周上均匀分布着扣爪;所述圆孔上分布着与扣爪相适配的凹槽;所述导气直管为伸缩管。本实用新型结构合理简单、安装便捷,能够有效保证导气弯管和导气直管的同轴性,保证气体的顺畅排出,为单晶硅的产品质量提供保障。专利说明一种单晶炉导气管技术领域[0001]本实用新型属于单晶炉排气技术领域。背景技术[0002]单晶硅是生产单晶硅太阳能电池的基...
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