技术编号:8089641
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本发明是一种单晶硅提拉用二氧化硅容器,具有直筒部、弯曲部及底部,其特征在于,前述二氧化硅容器的外侧是由含有气泡的不透明二氧化硅玻璃所构成,前述二氧化硅容器的内侧是由实质上不含气泡的透明二氧化硅玻璃所构成;于前述底部的内表面,形成厚度20μm以上且1000μm以下的二氧化硅玻璃层,所述二氧化硅玻璃层以超过300质量ppm且3000质量ppm以下的浓度含有OH基。由此,本发明提供一种低成本的单晶硅提拉用二氧化硅容器,可减低所提拉的单晶硅中的被称为孔隙或针孔的空洞缺陷。专利说明技术领域[0001 ] 本发明关于一...
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