技术编号:8089650
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要一种复合基板10,包含蓝宝石基板1A、设置于蓝宝石基板表面的氮化镓晶体构成的晶种膜4、以及在该晶种膜4上结晶生长的厚度200μm以下的氮化镓晶体层7。蓝宝石基板1A与晶种膜4的界面设置有空隙3,该空隙比率为4.5~12.5%。专利说明复合基板、其制造方法、13族元素氮化物构成的功能层的制造方法以及功能元件技术领域[0001]本发明关于包含氮化镓晶体层的复合基板、其制法以及利用了其的发光元件。背景技术[0002]专利文献I (Applied Physics Letters, 84,4041)中,在蓝宝石基板上...
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