技术编号：8090709
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本发明提供一种等离子体处理装置，其将从至少两个高频电源分别向上部电极和/或下部电极供给与等离子体相关的高频电力，可靠地检测反射波的变动，将异常放电发生防患于未然。阈值设定部（123）在来自第二高频电源部（75）的高频的供给稳定后，在时刻（T3）在第一高频电源部（65）和第二高频电源部（75）中，将遮断用阈值的电平均切换为相对低的电平。该遮断用阈值的相对低的电平在第一高频电源部和第二高频电源部中，均从相同的时间继续。在时刻（T4），由第一高频电源部开始第一次的电力供给的增加时，阈值设定部重新设定遮断用阈值，分...
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