技术编号:8090820
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本发明公开了一种多晶硅铸锭炉,涉及多晶硅铸锭炉热场保温技术领域,在坩埚和和加热器的外部设置隔热笼,隔热笼由固定的隔热笼顶板、底板与活动的隔热笼侧板组成,所述隔热笼侧板由隔热笼内侧板与隔热笼外侧板组成,隔热笼内、外侧板均分上下两部分,在下隔热笼内侧板的内侧设有至少一块复合板,所述复合板通过固定螺丝与下隔热笼内侧板和下隔热笼外侧板固定起来,所述的复合板为石墨碳材料复合板,上述多晶硅铸锭炉减少原隔热笼内侧板长时间高温烘烤导致的掉粉现象,可使隔热板内侧保温板的使用寿命延长至两年左右,且提升隔热笼内部的保温性能,节能...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。