技术编号：8090972
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本发明涉及一种全单晶硅铸锭炉，包括炉体、隔热笼、上发热体、下发热体、侧发热体、上坩埚盖板、侧坩埚护板、石英坩埚、上热交换台、下热交换台、升降立柱、水冷盘；所述隔热笼为箱体型，固定在炉体内，隔热笼内部固定设有上发热体，侧发热体；隔热笼中部设有下热交换台与下发热体、升降立柱固定连接，上热交换台为活动式，其上放置石英坩埚，侧坩埚护板4，侧坩埚护板、上坩埚盖板；隔热笼底部外侧设有水冷盘。本发明结构合理，避免了已有技术中的不足之处，使整个热场横向热场梯度小，熔化硅料时间短，提高了单晶率，缩短了工艺周期，提高了设备的生...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。