技术编号:8095557
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一般地用于加工材料的大气压等离子体处理加工方法。背景技术众所周知,基于等离子体加工的技术或方法在大量的工业领域中 是非常重要的,并且主要在微电子领域中,它们已经变得几乎必不可少。其它有利地使用上述技术或方法的示例性领域是航天、汽车、钢 铁制造、废物处理和生物医学领域,在这些领域中,通过使用等离子 体工艺,例如能够硬化表面、改变光学性质、中和有毒物质和改进被 加工的材料的生物相容性。与例如传统的化学工艺相比,通过使所述材料经受等离子体的所 述材料的表面修整, 一般来说具有若干优点。事实上,等离子体工...
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