技术编号：8096004
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本发明涉及单晶炉氩气系统，旨在提供一种用于单晶硅生长炉的氩气分流装置。该种用于单晶硅生长炉的氩气分流装置包括氩气净化圈和顶面法兰，氩气净化圈之间用螺钉和圆柱销依次连接，顶面法兰安装在单晶炉的腔体顶部，上端的氩气净化圈的一端与顶面法兰连接；顶面法兰的上端开有通气孔，用于作为氩气的进入通道，每个氩气净化圈上都开有通气槽和通气孔，分别作为氩气净化圈上氩气的进口和出口。通过本发明的使用，能使进入炉体的氩气气流更加稳定均匀，保证炉体内气压及温度的稳定性，从而提高硅单晶棒的成晶率和成晶品质。专利说明-种用于单晶硅生长炉...
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