技术编号：8097921
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本发明提供一种参数可调的微波等离子体产生装置，该装置包括磁控管、水负载、三销钉、多级磁场、密度调节组件、过渡段、共振腔、加速栅、环形器、激励腔及中和灯丝；其连接关系为磁控管安装在激励腔上，激励腔与环形器的一端连接，环形器的另一端通过过渡段与共振腔连接，三销钉安装在过渡段上；环形器外安装水负载；多级磁场安装在共振腔外，共振腔的端面安装密度调节组件，在密度调节组件的外表面安装加速栅，中和灯丝安装在加速栅的外端面；密度调节组件包括前密度调节板和后密度调节板，密度调节板上设有多个密度调节孔，加速栅上设有两组直径不同...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。