技术编号:8098678
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本发明创造提供一种提高直拉硅单晶生长速度的新型导流筒,包括内筒、内筒筒罩、外筒、外筒筒罩和保温层;所述内筒包括内筒上部和内筒下部且两者相连接构成内筒;所述内筒套装在外筒内部,且与外筒连接;所述保温层置于由内筒和外筒连接后构成的腔体内部;所述内筒上部被内筒上部筒罩覆盖且紧密贴合,所述内筒下部被内筒下部筒罩覆盖且紧密贴合,所述外筒被外筒筒罩覆盖且紧密贴合。本发明创造具有的优点和积极效果是本方案一方面可减少内筒下部对晶体的辐射热,增加内筒上部向外辐射和反射热量,加快结晶潜热释放,提高拉速,另一方面,减少热量吸收、...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。