技术编号:8099049
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本发明涉及一种单晶炉的上炉体,包括上炉体本体,所述上炉体本体上、下两端分别设有上、下连接件,上炉体本体包括內炉体和外炉体,外炉体和內炉体之间形成有冷却腔体,所述內炉体设置为弧形结构,呈“()”型结构,冷却腔体内设有绕设在内炉体上的螺旋式冷却翅片,外炉体的内壁与冷却翅片相连,外炉体的外壁上设有与冷却腔体相连的进水口和出水口。本发明具有结构简单,使用寿命长,能够散热等特点。专利说明一种单晶炉的上炉体 技术领域 [0001]本发明涉及单晶硅生产设备技术领域,特别涉及一种单晶炉的上炉体。 背景技术 [000...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。