一种直拉单晶炉热场系统用的下反射板的制作方法技术资料下载

技术编号:8102360

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专利摘要本实用新型涉及单晶炉领域,具体是一种直拉单晶炉热场系统用的下反射板。一种直拉单晶炉热场系统用的下反射板,该反射板中间有托杆孔,该反射板为放置在9层碳毡上的圆饼,在该圆饼上的电极孔和辅助电极孔之间的一条直径的两端有两个排气孔,在一对辅助电极孔上各覆盖一块石墨板,在每块石墨板中间开一个绝缘陶瓷放置口。本实用新型的有益效果是在不影响产品质量的前提下,通过热场改造,降低发热件损耗或增强热场系统保温性能,以达到缩短等径时间、降低生产成本的目的。专利说明一种直拉单晶炉热场系统用的下反射板技术领域[0001]本实用新型涉...
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