技术编号:8102835
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本实用新型涉及一种多晶炉测晶装置,包括大法兰、安装板、电机、减速机和直线单元以及安装在直线单元上并通过电机驱动的提升座,提升座上设有石英管,石英管的开口端穿出大法兰,石英管内设有石墨棒,提升座上设有磁铁和与磁铁相连接的限位开关,磁铁贴近石英管侧壁上,所述的磁铁带动石墨棒在石英管内上下移动。所述的一种多晶炉测晶装置,采用此种设计的测晶装置,能够自动测量晶体位置,记录下每次测量的位置供工艺人员参考调整相关参数,可以很方便的测量出晶体的位置,节省了大量的人力,而且石墨棒可以反复使用,也节省了大量的资源。专利说明—...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。