技术编号:8104483
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域0002本发明通常涉及挠性电路技术(flexcircuiUechnology)。更加具体地,本发明涉及使用挠性电路技术而创造电极。背景技术0003挠性电路被应用在微电子工业已经很多年。近几年,挠性电 路被用于设计应用于体内应用的微电极。 一个挠性电路设计包括在柔 软电介质衬底(dielectric substrate)(例如聚酰亚胺)上的叠片导电 箔片(例如,铜)。使用掩模(masking)和光刻(photol池ography )技术,在导电箔片上形成挠性电路。由于挠性电路的低生产成本,易 于设计一体化以及...
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