技术编号:8105137
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本实用新型公开了一种防漏硅渗透的G6多晶铸锭炉,包括石英坩埚、保温层系统和多晶铸锭炉,所述保温层系统设置在多晶铸锭炉内,所述石英坩埚设置在保温层系统内,所述保温层系统的角部为倒角形状,在所述保温层系统的倒角部分内侧设置石墨防护罩,且该石墨防护罩与保温层系统的角部结构形状相吻合。这样的设计解决了在石英坩埚热场由G5升级至G6后,保温层系统角部相应变薄成倒角形状的情况下,仍能防止漏硅从倒角形状的角部渗透的结构设计。专利说明一种防漏硅渗透的G6多晶铸锭炉 技术领域 [0001]本实用新型涉及一种防漏硅渗透的多...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。